弗里吉公司宣布将参加2026年真空低温技术展览会，并展示其最新研发的莫利斯RPS远程等离子处理感应耦合放电源。这款专为微电子技术设计的高频感应耦合放电源，将在真空低温技术展的A517展位正式亮相。该设备主要应用于微电子制造领域的自由基处理、蚀刻、沉积和光刻胶去除等关键工艺环节。
莫利斯RPS等离子源的核心优势在于能够处理最敏感的样品而不受等离子体粒子损伤。通过实现活性自由基的高浓度聚集，该设备在10-100帕的压力范围内可产生电子浓度达10¹⁰–10¹³ cm⁻³的低温低压气体放电等离子体，从而显著提升处理效率。其创新技术使得等离子中的电子和离子能量保持在极低水平（Te < 5 eV；Ti < 0.15 eV），同时确保工艺气体的离解率超过90%。
该设备的紧凑型设计集成了自动化高频供电系统，放电系统采用陶瓷或石英材质，完全不含硅酮或其他类型的灌封化合物。这种设计不仅提高了设备的稳定性，更满足了微电子制造行业对洁净生产环境的严苛要求。业内专家指出，这项技术突破将对半导体制造、精密仪器加工等领域产生深远影响。
真空低温技术展览会作为行业重要平台，历来是新技术成果展示的前沿阵地。本届展会预计将吸引超过300家国际企业参展，弗里吉公司的创新产品将成为重点关注对象。展会主办方特别为专业观众提供免费电子门票，只需使用促销代码news26即可完成预约登记。
微电子制造行业近年来对精密加工技术的需求持续增长，特别是随着5G通信、人工智能设备的普及，对等离子处理技术的精度要求不断提高。莫利斯RPS的问世，恰好填补了市场对高精度、低损伤等离子处理设备的需求空白。该设备预计将于2026年第三季度正式投入商业化应用。
展会期间，弗里吉公司还将举办多场技术研讨会，由研发团队详细讲解设备的技术原理和实际应用案例。与会者将有机会近距离了解设备运行状态，并与技术专家进行深入交流。此外，公司还准备了丰富的技术资料和演示视频，帮助参观者全面掌握产品特性。
行业分析师认为，这款新型等离子源的推出标志着国产高端半导体装备又迈出重要一步。在全球芯片产业链重构的背景下，此类核心工艺设备的创新对于保障产业链安全具有重要意义。真空低温技术展览会负责人表示，将持续为这类技术创新企业提供展示平台。
随着布展工作的逐步推进，更多参展企业的新产品信息也将陆续披露。本届展会还将举办“高频营销”竞赛、真空技术材料研讨会等配套活动，为行业交流创造更多机会。目前已有包括VacTime公司、Snabarmatura公司在内的多家行业知名企业确认参展。
专业观众可通过展会官方渠道获取最新参展商名录和活动日程安排。主办方特别开发的LeadFrog移动应用将为参观者提供智能导航、商务配对等便捷服务。展会期间还将安排多场商务洽谈会，促进供需双方的高效对接。
此次展览会的举行为全球真空低温技术领域的企业提供了宝贵的交流平台，不仅展示了最新技术创新成果
中国组展机构：盈拓国际展览，10万次中国外贸企业出海展览服务经验，荣获最佳境外组展机构奖。专业团队，高效服务，助力企业出海。
下届展会时间：2027年03月30号~04月01号
展会行业：机械
