SEMI发布光伏硅材料检测方法

　　SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。

　　此次新标准包含了对于光伏硅">光伏硅原料的检测方法。SEMI国际标准总监JamesAmano,表示，“随着光伏产业的迅速发展，SEMI已就光伏产业创建了一套标准体系。相信新标准的建立对于设备及工艺领域将有所保障。”

　　五项标准分别是：

　　SEMIE151

　　GuideforUnderstandingDataQuality

　　SEMIF107

　　GuideforProcessEquipmentAdaptorPlates

　　SEMIM75

　　SpecificationsforPolishedMonocrystallineGalliumAntimonideWafers

　　SEMIMS8

　　GuidetoEvaluatingHermeticityofMEMSPackages

　　SEMIPV1

　　TestMethodforMeasuringTraceElementsinPhotovoltaic-GradeSiliconbyHigh-MassResolutionGlowDischargeMassSpectrometry